无锡集成电路产业专项母基金首个直投项目签约

　　12月24日，无锡集成电路产业专项母基金与无锡星微科技有限公司举行项目投资签约仪式，这是无锡战新基金完成的第一单直投项目。接下来，无锡集成电路产业专项母基金将继续发挥战新专项母基金功能，持续加大对半导体设备、零部件和材料的投资，促进无锡集成电路产业向纵深发展。

　　星微科技成立于2015年，注册地位于无锡市新吴区。公司专注于半导体精密运动控制解决方案研发。公司依托微米与纳米级精密运动控制技术、精密制造能力以及科学生产管理，努力向“晶圆超精密定位、传输、存储一体化解决方案制造商”目标迈进。当前，半导体设备零部件国产替代步伐加快，高精度运动平台和晶圆传输设备是半导体设备两大关键零部件，给国内半导体设备零部件厂商迎来新的发展机遇，星微科技是业内少数能够同时提供两类产品的公司之一，同时也是极少数能够实现底层核心零部件自研，并与头部半导体设备客户形成高效合作研发和快速迭代的厂商。